采用金剛石游離磨料對真空熱壓燒結后的金剛石超薄切割砂輪毛坯進行研磨減薄,研究了游離磨料的進料方式、砂輪的固定方式、單面研磨時間、鑄鐵盤轉速、磨料粒度、研磨壓力等研磨工藝參數對減薄金剛石超薄切割砂輪效果的影響。實驗中金剛石砂輪的厚度從0.5 mm減薄到0.38 mm。工藝參數實驗結果表明:可以通過調整研磨過程中各項參數,提高超薄切割砂輪厚度尺寸均勻性和降低金剛石超薄切割砂輪的相對翹曲度,實現對金剛石超薄切割砂輪的精密加工。